説明
3/1/26構成
構成なしOEMモデルの説明
The LDS 3000 allows fully automatic defect monitoring in all process steps. All types of yield limiting visual defects on single layer or multi-layer patterned wafers will be detected, including thin film-, photo-, -etch- and the cleaning-process will be detected. Beside the micro the LDS 3000 can be equipped optionally also with fully automatic macro inspection.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Reticle / Mask Inspection
最終検証： 13日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
148141
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA / VISTEC / LEICA
LDS3000
カテゴリ
Reticle / Mask Inspection
最終検証： 13日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
148141
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
3/1/26構成
構成なしOEMモデルの説明
The LDS 3000 allows fully automatic defect monitoring in all process steps. All types of yield limiting visual defects on single layer or multi-layer patterned wafers will be detected, including thin film-, photo-, -etch- and the cleaning-process will be detected. Beside the micro the LDS 3000 can be equipped optionally also with fully automatic macro inspection.ドキュメント
ドキュメントなし