説明
Size Configuration: 6”, 150mm Direct-Cooled Chamber 3/8” Pressure w/ATM Sensor & 3/8” Gas Manifolds MKS 627A Heated Baratron Dacscan P/N: 80-095-278, ISS 8 or Higher Software Ver. 4.02g 20 Recipe P/N: 26-041-038, Rev. C or higher RF Generator: ENI ACG-10 (Re-Calibrated)- 4- Unit 8100 MFC’s- 1- Unit 8130 Pressure Controller- 1- Integrated Flat panel構成
Gases in use: SF6, FR23, FR116, He, O2OEMモデルの説明
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ドキュメントなし
TEGAL
903
検証済み
カテゴリ
RIE
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
58088
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
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Refurbishment Services
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最終検証： 60日以上前
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Size Configuration: 6”, 150mm Direct-Cooled Chamber 3/8” Pressure w/ATM Sensor & 3/8” Gas Manifolds MKS 627A Heated Baratron Dacscan P/N: 80-095-278, ISS 8 or Higher Software Ver. 4.02g 20 Recipe P/N: 26-041-038, Rev. C or higher RF Generator: ENI ACG-10 (Re-Calibrated)- 4- Unit 8100 MFC’s- 1- Unit 8130 Pressure Controller- 1- Integrated Flat panel構成
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