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The Oxford PLASMALAB 133 ICP 380 is a type of Ion Couple Plasma Etching System that features a 380 ICP Source. This system is designed with a manual load lock and a ceramic clamp style. It comes with an Alcatel Turbo pump and controller, a VAT Gate Valve and PM5 controller, an Endpoint Detector, and an RF power supply with match work and tuner. Additionally, it has eight Mass Flow Controllers.ドキュメント
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OXFORD
PLASMALAB 133 ICP 380
検証済み
カテゴリ
PECVD
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
79017
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Available
Refurbishment Services
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OXFORD
PLASMALAB 133 ICP 380
検証済み
カテゴリ
PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
79017
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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The Oxford PLASMALAB 133 ICP 380 is a type of Ion Couple Plasma Etching System that features a 380 ICP Source. This system is designed with a manual load lock and a ceramic clamp style. It comes with an Alcatel Turbo pump and controller, a VAT Gate Valve and PM5 controller, an Endpoint Detector, and an RF power supply with match work and tuner. Additionally, it has eight Mass Flow Controllers.ドキュメント
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