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説明
RTP構成
1-1. Factory Interface 5.3X ITEM Y(O) / N(X) Yaskawa Dual Arm Robot (XU-RC350D-1B06) O Robot Controller (ERCR-NS01-B004-E1) O Track assembly (XU-ACT101L-G10) O Pre-Aligner O 3 Load Port O Server : Supermicro(QTY.4) O 1-2. Process Chamber(A/B) ITEM Y(O) / N(X) Vulcan ATM, Bottom Heating, Spike Anneal O WRLD Maglev System O IGS Gas Stick MFC Panel O Multi-Zone Lamp Driver O Pyrometers OOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 21日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
96900
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2012
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
APPLIED MATERIALS (AMAT)
VANTAGE VULCAN
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 21日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
96900
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2012
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Available