説明
説明なし構成
Process: RTPOEMモデルの説明
The 2900 RTP system addresses 0.25-0.13 micron RTP applications at, what STEAG believes to be, the best cost of ownership in the industry. It incorporates the advanced capabilities of the 3000 RTP tool and the field proven capabilities of the 2800 and 8800 systems. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
121025
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2002
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
MATTSON / STEAG / AST
2900
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
121025
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2002
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
説明なし構成
Process: RTPOEMモデルの説明
The 2900 RTP system addresses 0.25-0.13 micron RTP applications at, what STEAG believes to be, the best cost of ownership in the industry. It incorporates the advanced capabilities of the 3000 RTP tool and the field proven capabilities of the 2800 and 8800 systems. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
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