説明
Scanning Electron Microscope (SEM)構成
Pump and chiller Known issues: Turbopump requires replacement High stability Schottky field emission gun; Fast chamber evacuation: 2 min; 0.2 to 30 kV; Beam deceleration with stage bias from -150 V to -4 kV; Lowest landing energy 50 V; Optimal high vacuum image resolution: 1.6 nm at 1 kV; 1.0 nm at 15 kV; High vacuum SED, in-lens (TLD), EDX, vCD (high sensitivity low kV BSE) detectors; Optimal low vacuum image resolution: 2.0 nm; Low vacuum LVD, LVD/Helix, GAD (TV-rate solid-state BSE), EDX, vCD (high sensitivity low kV BSE) detectors; 5-axes motorized stage; z axis movable up to 60 mm; -5°/+70° tiltOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
SEM / FIB
最終検証： 12日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
153433
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
THERMOFISHER SCIENTIFIC / FEI / PHILIPS
NOVA NANOSEM 430
カテゴリ
SEM / FIB
最終検証： 12日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
153433
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Available
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Available
説明
Scanning Electron Microscope (SEM)構成
Pump and chiller Known issues: Turbopump requires replacement High stability Schottky field emission gun; Fast chamber evacuation: 2 min; 0.2 to 30 kV; Beam deceleration with stage bias from -150 V to -4 kV; Lowest landing energy 50 V; Optimal high vacuum image resolution: 1.6 nm at 1 kV; 1.0 nm at 15 kV; High vacuum SED, in-lens (TLD), EDX, vCD (high sensitivity low kV BSE) detectors; Optimal low vacuum image resolution: 2.0 nm; Low vacuum LVD, LVD/Helix, GAD (TV-rate solid-state BSE), EDX, vCD (high sensitivity low kV BSE) detectors; 5-axes motorized stage; z axis movable up to 60 mm; -5°/+70° tiltOEMモデルの説明
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