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市場 > SEM / FIB > HITACHI > SU1510

SU1510

カテゴリ
SEM / FIB
概要(Overview)

Same high performance optics as S-3400N Variable Pressure mode as standard Large samples up to 153mm in diameter (observation range 126mm in diameter) Observation and EDS analysis on a sample up to 60mm tall Main unit is only 55 cm wide, operating table can be provided by user. TMP vacuum is standard Resolution: 3.0 nm(30kV,SE,HV), 4.0 nm(30kV,BSE,LV)

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