説明
Exposure Tool Width 82.677 in (210.0 cm) Depth 179.528 in (456.0 cm) Height 88.189 in (224.0 cm) Weight 18,408 lb (8,350 kg)構成
Excimer Laser type: CYMER XLA165OEMモデルの説明
Twinscan AT:1200B provides resolutions up to 80-nm and is designed for 300-mm wafers. Like all other Twinscan tools, AT:1200B can process two wafers simultaneously.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 13日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
150850
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2003
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ASML
TWINSCAN AT:1200B
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 13日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
150850
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2003
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Exposure Tool Width 82.677 in (210.0 cm) Depth 179.528 in (456.0 cm) Height 88.189 in (224.0 cm) Weight 18,408 lb (8,350 kg)構成
Excimer Laser type: CYMER XLA165OEMモデルの説明
Twinscan AT:1200B provides resolutions up to 80-nm and is designed for 300-mm wafers. Like all other Twinscan tools, AT:1200B can process two wafers simultaneously.ドキュメント
ドキュメントなし