説明
Asset Description - 365nm I-line Software Version - 4.1 CIM - secs Process - 65/130nm構成
Handler System: Wfr handler (OK) Factory Interface: FOUP 1 (OK) Main System: Body 1 (OK)OEMモデルの説明
The productivity enhancements in TWINSCAN C increase wafer output to over 110 wafers per hour for 300 mm wafers at real production conditions (109 exposures per wafer). The TWINSCAN C product family will be available on four systems: the AT:400C, AT:750C, AT:850C and AT:1150C.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 14日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Down
製品ID：
133490
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ASML
TWINSCAN AT:400C
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 14日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Down
製品ID：
133490
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Asset Description - 365nm I-line Software Version - 4.1 CIM - secs Process - 65/130nm構成
Handler System: Wfr handler (OK) Factory Interface: FOUP 1 (OK) Main System: Body 1 (OK)OEMモデルの説明
The productivity enhancements in TWINSCAN C increase wafer output to over 110 wafers per hour for 300 mm wafers at real production conditions (109 exposures per wafer). The TWINSCAN C product family will be available on four systems: the AT:400C, AT:750C, AT:850C and AT:1150C.ドキュメント
ドキュメントなし