
説明
ASML XT 1900Gi 300mm litho tool Details Attached構成
Software Version: 5.0 CIM: SECS, GEM Process: Immersion Lithography Factory Interface: SMIF Options System: - Agile - 300mm FOUP - Version 5.0 Immersion Hood - ART OHT interface - SMASH Alignment - Baseliner Focus - Cymer XLA 360 Laser - Reticle Library - Aux Exhaust UnitOEMモデルの説明
The TWINSCAN XT:1900Gi Step-and-Scan system is a high-productivity, dual-stage immersion lithography tool designed for volume 300-mm wafer production at 45-nm resolution and below.ドキュメント
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証: 6日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
140508
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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TWINSCAN XT:1900Gi
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Steppers & Scanners
最終検証: 6日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
140508
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available