説明

Photolithography machine Stepper

構成

i-line OEM: 0.5um

OEMモデルの説明

The CANON FPA 2000-i1 is an advanced i-line wafer stepper that can print high-density VLSI devices with high yields. It has a printing wavelength of 365 nm, can handle wafers up to 4" in size, and has a resolution of 0.5 µm. It also features die-by-die and global leveling for wafer leveling.

ドキュメント

ドキュメントなし

CANON

FPA-2000i1

検証済み

カテゴリ

Steppers & Scanners

最終検証： 28日前

主なアイテムの詳細

状態：

Used

稼働ステータス:

不明

製品ID：

136856

ウェーハサイズ：

6"/150mm

ヴィンテージ：

1994

Logistics Support

Available

Transaction Insured by Moov

Available

Refurbishment Services

Available

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