説明
i-Line Wide-Field Stepper構成
構成なしOEMモデルの説明
FPA-5500iZ large-field i-line stepper for lowest CoO on non-critical layers. This high-productivity 365nm step-and-repeat system matches existing KrF/ArF scanner fields (26x33mm) for low-cost rough layer exposure.ドキュメント
ドキュメントなし
CANON
FPA-5500iZ+
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証: 16日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
91667
ウェーハサイズ:
12"/300mm
ヴィンテージ:
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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FPA-5500iZ+
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Steppers & Scanners
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不明
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12"/300mm
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i-Line Wide-Field Stepper構成
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FPA-5500iZ large-field i-line stepper for lowest CoO on non-critical layers. This high-productivity 365nm step-and-repeat system matches existing KrF/ArF scanner fields (26x33mm) for low-cost rough layer exposure.ドキュメント
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