説明
350nm, i-Line Stepper構成
350nm, i-Line StepperOEMモデルの説明
FPA-5500iZ large-field i-line stepper for lowest CoO on non-critical layers. This high-productivity 365nm step-and-repeat system matches existing KrF/ArF scanner fields (26x33mm) for low-cost rough layer exposure.ドキュメント
ドキュメントなし
CANON
FPA-5500iZ+
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
90950
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
CANON
FPA-5500iZ+
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
90950
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
350nm, i-Line Stepper構成
350nm, i-Line StepperOEMモデルの説明
FPA-5500iZ large-field i-line stepper for lowest CoO on non-critical layers. This high-productivity 365nm step-and-repeat system matches existing KrF/ArF scanner fields (26x33mm) for low-cost rough layer exposure.ドキュメント
ドキュメントなし