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CANON FPA-6000ES5
    説明
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    構成
    構成なし
    OEMモデルの説明
    The Canon FPA-6000ES5 is a KrF (248nm) scanner built on Canon’s 300mm-ready FPA-6000 single-stage platform. It has an 0.80 numerical aperture and an ultra-low aberration 4:1 reduction lens system, capable of projecting IC features as small as 110nm. It is aimed at chip manufacturers moving processes to 110nm and 90nm nodes. The platform integrates two ultra-technologies, optical lithography and mechanical forces, to achieve an equal mastery of both.
    ドキュメント

    ドキュメントなし

    CANON

    FPA-6000ES5

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    検証済み

    カテゴリ
    Steppers & Scanners

    最終検証: 60日以上前

    主なアイテムの詳細

    状態:

    Used


    稼働ステータス:

    不明


    製品ID:

    67288


    ウェーハサイズ:

    不明


    ヴィンテージ:

    2003


    Have Additional Questions?
    Logistics Support
    Available
    Money Back Guarantee
    Available
    Transaction Insured by Moov
    Available
    Refurbishment Services
    Available
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    CANON FPA-6000ES5

    CANON

    FPA-6000ES5

    Steppers & Scanners
    ヴィンテージ: 2003状態: 中古
    最終確認60日以上前

    CANON

    FPA-6000ES5

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    最終検証: 60日以上前
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    不明


    製品ID:

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    不明


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    2003


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    The Canon FPA-6000ES5 is a KrF (248nm) scanner built on Canon’s 300mm-ready FPA-6000 single-stage platform. It has an 0.80 numerical aperture and an ultra-low aberration 4:1 reduction lens system, capable of projecting IC features as small as 110nm. It is aimed at chip manufacturers moving processes to 110nm and 90nm nodes. The platform integrates two ultra-technologies, optical lithography and mechanical forces, to achieve an equal mastery of both.
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