説明
90nm KrF Scanner構成
Uniformity(1.811%), Intensity(24299.68W/m2), 6" Reticle Inline((R->L), Cymer Laser(ELS-7310). Fab out (Jan. 2019)OEMモデルの説明
KrF photolithography system supports high-volume manufacturing of semiconductor devices. The ES6a scanning stepper utilizes Canon’s Advanced Flexible Illumination System (AFIS) to resolve 90 nanometer features.ドキュメント
ドキュメントなし
CANON
FPA-6000ES6a
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
95106
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2007
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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FPA-6000ES6a
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不明
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12"/300mm
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90nm KrF Scanner構成
Uniformity(1.811%), Intensity(24299.68W/m2), 6" Reticle Inline((R->L), Cymer Laser(ELS-7310). Fab out (Jan. 2019)OEMモデルの説明
KrF photolithography system supports high-volume manufacturing of semiconductor devices. The ES6a scanning stepper utilizes Canon’s Advanced Flexible Illumination System (AFIS) to resolve 90 nanometer features.ドキュメント
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