説明
i-LINE構成
STEPPEROEMモデルの説明
Resolution: ≦ 500 nm NA (Numerical Aperture): 0.37~0.28 (Variable) Reduction Ratio1:2 Field Size: 52 mm (max) x 56 mm (max) (Φ70.7 mm inside) Exposure Wavelength: i-line 365 nm Reticle Size: 6 inch Wafer Size: 200 mm (8 inch), 300 mm (12 inch) (Selection)ドキュメント
ドキュメントなし
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
83622
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2015
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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CANON
FPA-5510iX
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ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
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Resolution: ≦ 500 nm NA (Numerical Aperture): 0.37~0.28 (Variable) Reduction Ratio1:2 Field Size: 52 mm (max) x 56 mm (max) (Φ70.7 mm inside) Exposure Wavelength: i-line 365 nm Reticle Size: 6 inch Wafer Size: 200 mm (8 inch), 300 mm (12 inch) (Selection)ドキュメント
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