説明
Lithography Step and repeat scanning system Fab Section - Lithography構成
Software Version - 1.80 MCSW+OCS CIM - SECS Process - Exposure Wafers ( 248nm ) KrFOEMモデルの説明
NSR-S208D (resolution ≦ 110 nm).ドキュメント
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NIKON
NSR-S208D
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
131886
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2005
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available