説明
Scanner構成
Exposure Light Source: ArF Excimer Laser Wavelength: 193 NA: 0.85 Resolution: 80nm Alignment Accuracy: 12nm Exposure Field: 26x33mm Reduction Ration: 1:4OEMモデルの説明
NSR-S307E (resolution ≦ 80 nm).ドキュメント
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NIKON
NSR-S307E
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 今日
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
145516
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available