説明
FIB構成
Advanced end-point (FIB Assist)：28nm Circuit Edit Laser Stage : 50nm accuracy、8” Wafer Optics (IR and FIB) : Backside Circuit Edit Gas Delivery : Tungsten、Bromine、XeF2、Water、Oxgen、TMCTS Working with Copper : Top level copper removal Advanced Imaging and Endpointing CAD : CAD Overlay for Circuit Editing Graphical User Interface : Faster trainingOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
TEM
最終検証： 17日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
152227
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2002
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
THERMOFISHER SCIENTIFIC / FEI / MICRION
VECTRA 986
カテゴリ
TEM
最終検証： 17日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
152227
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2002
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Available
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説明
FIB構成
Advanced end-point (FIB Assist)：28nm Circuit Edit Laser Stage : 50nm accuracy、8” Wafer Optics (IR and FIB) : Backside Circuit Edit Gas Delivery : Tungsten、Bromine、XeF2、Water、Oxgen、TMCTS Working with Copper : Top level copper removal Advanced Imaging and Endpointing CAD : CAD Overlay for Circuit Editing Graphical User Interface : Faster trainingOEMモデルの説明
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