説明
Metrology (Bow, Thickness, TTV) SMIF: 2x Brooks Verrsaport 2200 Loadports (Fortrend not supported) SEMI E84 compatible Wafer Handling: GaAs, Si, Sapphire with +/- 200 µm Bow and 4 mm Thickness Different Wafer cassettes (13 / 25 slot) possible Prealigner, OCR Reader CWL 3 mm (Wafer Bow, Wafer Thickness) WLI / CFM OT (Chip Topography) IRT 80 (Film Thickness) FTR UV-VIS-NIR (Thin Film Thickness) MTBF / MTBA / MTTR / Uptime: > 500 h / 50 h / 4 h / > 95 %構成
Wafer Bow, EPI Thickness, TTVOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
FRT
MICROPROF
カテゴリ
Thin Film / Film Thickness
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
142372
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available