説明
Film Thickness Masurement構成
構成なしOEMモデルの説明
The THERMAWAVE OP 5340 metrology system is used for complex thin film thickness measurement on 150mm, 200mm, and 300mm wafers. The THERMAWAVE OP 5340 has 65nm IC Production Accuracy. The THERMAWAVE OP 5340 is capable of directly interfacing with automated material handling systems. OP-5300 Series has expanded OP-5200 series wafer measurement capability to 300 millimeters.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Thin Film / Film Thickness
最終検証： 昨日
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
137394
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA / THERMA-WAVE
OP-5340
カテゴリ
Thin Film / Film Thickness
最終検証： 昨日
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
137394
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Film Thickness Masurement構成
構成なしOEMモデルの説明
The THERMAWAVE OP 5340 metrology system is used for complex thin film thickness measurement on 150mm, 200mm, and 300mm wafers. The THERMAWAVE OP 5340 has 65nm IC Production Accuracy. The THERMAWAVE OP 5340 is capable of directly interfacing with automated material handling systems. OP-5300 Series has expanded OP-5200 series wafer measurement capability to 300 millimeters.ドキュメント
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