説明
WHM6X Wafer Handling Module based on VAC.ROBOTICS platform構成
Wafer Handling Module – WHM230X 1 Wafer Handling Robot - WHR-VAC X700 Z0 L1000 1 End Effector - EE- D230 x L1000 1 LLM230 Load Lock Module 1 WAM200 Wafer Alignment Module 1 WID120/44 SHS Wafer ID-Reader 1 Gate valve B270 x H100 one direction [LLM/MLL] 1 Gate valve B270 x H100 dual direction [PROCESS] 4 VAC + CONTROL SYSTEM 1 Costumizing 1OEMモデルの説明
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Adenso
WHM6X
カテゴリ
Wafer Handling
最終検証： 昨日
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
145849
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2025
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
WHM6X Wafer Handling Module based on VAC.ROBOTICS platform構成
Wafer Handling Module – WHM230X 1 Wafer Handling Robot - WHR-VAC X700 Z0 L1000 1 End Effector - EE- D230 x L1000 1 LLM230 Load Lock Module 1 WAM200 Wafer Alignment Module 1 WID120/44 SHS Wafer ID-Reader 1 Gate valve B270 x H100 one direction [LLM/MLL] 1 Gate valve B270 x H100 dual direction [PROCESS] 4 VAC + CONTROL SYSTEM 1 Costumizing 1OEMモデルの説明
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