説明
Equipment front-end module構成
(Qty 2) Load ports Brooks robot part number: 121655 FIXLOAD 6" FabExpress Brooks robot controller part number: 105947 P/N: 701-0401-01ROEMモデルの説明
The Brooks Automation 109752-199 is the model designation for a 300mm Equipment Front End Module (EFEM), specifically utilized in the FabExpress family of atmospheric wafer transfer and cabinet automation systems.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Wafer Handling
最終検証： 4日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
153153
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
BROOKS / PRI AUTOMATION
109752-199
カテゴリ
Wafer Handling
最終検証： 4日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
153153
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Equipment front-end module構成
(Qty 2) Load ports Brooks robot part number: 121655 FIXLOAD 6" FabExpress Brooks robot controller part number: 105947 P/N: 701-0401-01ROEMモデルの説明
The Brooks Automation 109752-199 is the model designation for a 300mm Equipment Front End Module (EFEM), specifically utilized in the FabExpress family of atmospheric wafer transfer and cabinet automation systems.ドキュメント
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