
説明
Purpose: Vapor MEMS Release -Use for silicon sacrificial layer removal (Etching) -Single wafer process in vacuum chamber -Process Temperature can be 5oC to >100oC構成
Chemicals: HF Process type: Single wafer Pumping system: -Ebara AA200WN*2 -Ebara AA40WN*2 (1 for service and 1 for spare) Local Scrubber: Kanken Techno KW300OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Wafer Handling
最終検証: 2日前
主なアイテムの詳細
状態:
New
稼働ステータス:
不明
製品ID:
147939
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
2021
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
memsstar
Orbis 3000
カテゴリ
Wafer Handling
最終検証: 2日前
主なアイテムの詳細
状態:
New
稼働ステータス:
不明
製品ID:
147939
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
2021
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Purpose: Vapor MEMS Release -Use for silicon sacrificial layer removal (Etching) -Single wafer process in vacuum chamber -Process Temperature can be 5oC to >100oC構成
Chemicals: HF Process type: Single wafer Pumping system: -Ebara AA200WN*2 -Ebara AA40WN*2 (1 for service and 1 for spare) Local Scrubber: Kanken Techno KW300OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
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