説明
FEOL CLEAN Hardware (Fab) : System Type Description Quantity Status Others Hardware (Subfab / Auxilliary Units) Description Qty Status MKS PrimO3 1 OK Fire System 1 OK Missing/Faulty Parts / Accessories List Description Qty DIABLED CHAMBERS 12/12/22 6構成
CIM: SECS/GEMS Process: FEOL CLEAN Software Version: V2_411STD01OEMモデルの説明
The AQUASPIN SU-3200 single wafer cleaning system is able to spray chemical to achieve individual wafer cleaning.ドキュメント
SCREEN / DNS / DAINIPPON SCREEN
SU-3200
検証済み
カテゴリ
Wet Benches - Auto
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
116588
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2013
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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ウェーハサイズ：
12"/300mm
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