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Spin-Processor SEZ 1200 (8inch) System Components: Power Distribution Box Main Unit: -Single chamber -Double Side Chuck -Double Arm Robot with Ceramic EE -Manual Load Ports Process Control Cabinet Heat Exchangers: -Double Heatexchanger Medium 1 -Double Heatexchanger Medium 2 Suckback Box Chemistry Dispense System (CDS) Chemistry Control Cabinet / CCC -Chemistry Cabinets (CHC) 1 & 2 -Buffer Tank -Canister Fill Filter Fan UnitOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Wet Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
66522
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
LAM RESEARCH / SEZ
1200
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最終検証： 60日以上前
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不明
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Spin-Processor SEZ 1200 (8inch) System Components: Power Distribution Box Main Unit: -Single chamber -Double Side Chuck -Double Arm Robot with Ceramic EE -Manual Load Ports Process Control Cabinet Heat Exchangers: -Double Heatexchanger Medium 1 -Double Heatexchanger Medium 2 Suckback Box Chemistry Dispense System (CDS) Chemistry Control Cabinet / CCC -Chemistry Cabinets (CHC) 1 & 2 -Buffer Tank -Canister Fill Filter Fan UnitOEMモデルの説明
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