説明
説明なし構成
Type: 300mm Oasis clean Software revision: OA_B3.0_38 Configuration: ChA Axiom (Dry strip) ChB Tempest (Wet etch, NH4OH, H2O2, HF) ChD Tempest (Wet etch, NH4OH, H2O2, HF) Modules: Mainframe FI (Yaskawa robot) Bulkfill Chemical cabinet Rotary vacuum pump (for ChA) Main AC box Generator rack Connection details: 208V 3fase 50/60Hz 240AOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
APPLIED MATERIALS (AMAT)
OASIS
検証済み
カテゴリ
Wet Processing / Wafer Cleaning
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
65297
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2006
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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Type: 300mm Oasis clean Software revision: OA_B3.0_38 Configuration: ChA Axiom (Dry strip) ChB Tempest (Wet etch, NH4OH, H2O2, HF) ChD Tempest (Wet etch, NH4OH, H2O2, HF) Modules: Mainframe FI (Yaskawa robot) Bulkfill Chemical cabinet Rotary vacuum pump (for ChA) Main AC box Generator rack Connection details: 208V 3fase 50/60Hz 240AOEMモデルの説明
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