説明
SS-3000(2+2) With HDD, no missing part, de-installed by OEM構成
[Chamber A] Process : Wafer surface clean Chuck : Vacuum Chuck SPRAY : Soft Spray N2 10~100NL/min Rinse :DIW/ CO2 INJENCTION ,resistivity <1MΩ Spin DRY : 3000rpm Spin Dry only [Chamber B] Process : Wafer surface clean Chuck : Vacuum Chuck SPRAY : Soft Spray N2 10~100NL/min Rinse :DIW/ CO2 INJENCTION ,resistivity <1MΩ Spin DRY : 3000rpm Spin Dry only [Chamber C] Process : Wafer Backside clean Chuck : Mechanical Chuck SPRAY : Soft Spray N2 10~200NL/min Burush : PVA Burush Rinse :DIW/ CO2 INJENCTION ,resistivity <1MΩ Spin DRY : 2400rpm Spin Dry only [Chamber D] Process : Wafer Backside clean Chuck : Mechanical Chuck SPRAY : Soft Spray N2 10~200NL/min Burush : PVA Burush Rinse :DIW/ CO2 INJENCTION ,resistivity <1MΩ Spin DRY : 2400rpm Spin Dry onlyOEMモデルの説明
Wafer Scrubberドキュメント
SCREEN / DNS / DAINIPPON SCREEN
SS-3000-AR
検証済み
カテゴリ
Wet processing
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Deinstalled / Uncrated
製品ID：
92749
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2005
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Deinstalled / Uncrated
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92749
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2005
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