説明
Installed構成
➢4 Process Cup Wafer Scrubber ➢3 Wafer Loader Ports ➢Used for TMAH, SC1, DIW Scrub Process ➢Remote Power Box ➢Remote TMAH, SC1 Chemical Cabinet ➢Known Issues: oHDD Crashed, Faulty Robot, System Communication Issues with TMAH ControllerMicron Process: TMAH SCRUBOEMモデルの説明
Wafer Scrubberドキュメント
ドキュメントなし
SCREEN / DNS / DAINIPPON SCREEN
SS-3000-AR
検証済み
カテゴリ
Wet processing
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
44531
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2007
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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SS-3000-AR
検証済み
カテゴリ
Wet processing
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
44531
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2007
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Available
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Available
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Available
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Available
説明
Installed構成
➢4 Process Cup Wafer Scrubber ➢3 Wafer Loader Ports ➢Used for TMAH, SC1, DIW Scrub Process ➢Remote Power Box ➢Remote TMAH, SC1 Chemical Cabinet ➢Known Issues: oHDD Crashed, Faulty Robot, System Communication Issues with TMAH ControllerMicron Process: TMAH SCRUBOEMモデルの説明
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