説明
STEPPER構成
構成なしOEMモデルの説明
Step-and-Repeat Scanning System NSR-S207D, a lens-scanning KrF excimer stepper for mass production of 110nm advanced devices incorporating an ultra-high N.A. lens. The NSR-S207D incorporates an ultra-high N.A. (N.A.O.82) projection lens, for the KrF excimer laser (248nm wavelength), and uses a newly developed body to significantly improve throughput performance and alignment accuracy.ドキュメント
ドキュメントなし
NIKON
NSR-S207D
検証済み
カテゴリ
248nm DUV
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
49299
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2005
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
NIKON
NSR-S207D
検証済み
カテゴリ
248nm DUV
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
49299
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2005
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STEPPER構成
構成なしOEMモデルの説明
Step-and-Repeat Scanning System NSR-S207D, a lens-scanning KrF excimer stepper for mass production of 110nm advanced devices incorporating an ultra-high N.A. lens. The NSR-S207D incorporates an ultra-high N.A. (N.A.O.82) projection lens, for the KrF excimer laser (248nm wavelength), and uses a newly developed body to significantly improve throughput performance and alignment accuracy.ドキュメント
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