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構成なしOEMモデルの説明
Eagle XP8 is a high productivity 300mm tool for PEALD applications. The Eagle XP8 PEALD system can be configured with up to four Dual Chamber Modules (DCM), enabling eight chambers in high volume production within a very compact footprint.ドキュメント
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ASM
EAGLE XP8
カテゴリ
ALD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
126338
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Eagle XP8 is a high productivity 300mm tool for PEALD applications. The Eagle XP8 PEALD system can be configured with up to four Dual Chamber Modules (DCM), enabling eight chambers in high volume production within a very compact footprint.ドキュメント
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