説明
Atomic Layer Deposition 1. 1 x Fortrend Plus 500R-L 2. 1 x Fortrend Plus 500R-R 3. 1 x EBARA Pump EV-X200 4. 3 x EBARA Pump EV-S20P 5. 1 x Abatement Kanken KT1000FA-D構成
1 chamber configuration 1 X Picosun Morpher F Brooks MX 700 Aligner, VCE X 2 Al2O3 with O3 and H2O HfO2OEMモデルの説明
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PICOSUN
Morpher
カテゴリ
ALD
最終検証： 昨日
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Idle
製品ID：
142344
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Atomic Layer Deposition 1. 1 x Fortrend Plus 500R-L 2. 1 x Fortrend Plus 500R-R 3. 1 x EBARA Pump EV-X200 4. 3 x EBARA Pump EV-S20P 5. 1 x Abatement Kanken KT1000FA-D構成
1 chamber configuration 1 X Picosun Morpher F Brooks MX 700 Aligner, VCE X 2 Al2O3 with O3 and H2O HfO2OEMモデルの説明
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