説明
説明なし構成
Resolution 5nm, Repeatability 1%, CD range ≥0.1μm Original spec 8inch Si Notched Modified spec 4/6/8inch Si/ SiC/ GaAs/ GaNOEMモデルの説明
20 (automatic operation) (6-inch wafer, 5-point measurement) wafer sizes: 5, 6, 8ドキュメント
ドキュメントなし
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HITACHI
S-8820
カテゴリ
CD-SEM
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID：
131706
ウェーハサイズ：
4"/100mm, 6"/150mm, 8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
説明なし構成
Resolution 5nm, Repeatability 1%, CD range ≥0.1μm Original spec 8inch Si Notched Modified spec 4/6/8inch Si/ SiC/ GaAs/ GaNOEMモデルの説明
20 (automatic operation) (6-inch wafer, 5-point measurement) wafer sizes: 5, 6, 8ドキュメント
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