説明
EFEM MAINFRAME AC RACK構成
構成なしOEMモデルの説明
The ALTUS Max is a tungsten deposition system that provides advanced contact and via fill technology. It is designed to deliver high productivity and is the first ALD tungsten system to achieve a throughput of over 120 wafers per hour. This sets a new benchmark in productivity while maintaining world-class reliability and single-digit 65 nm defect performance. The ALTUS Max is a powerful tool for semiconductor manufacturing.ドキュメント
ドキュメントなし
LAM RESEARCH / NOVELLUS
CONCEPT THREE "C3" ALTUS MAX
検証済み
カテゴリ
CVD (Metalization)
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
73942
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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CVD (Metalization)
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The ALTUS Max is a tungsten deposition system that provides advanced contact and via fill technology. It is designed to deliver high productivity and is the first ALD tungsten system to achieve a throughput of over 120 wafers per hour. This sets a new benchmark in productivity while maintaining world-class reliability and single-digit 65 nm defect performance. The ALTUS Max is a powerful tool for semiconductor manufacturing.ドキュメント
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