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The eS31 combines our advanced electron beam system architecture with our 23xx brightfield inspection software platform and provides high inspection sensitivity for development, with high throughput for production monitoring.ドキュメント
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KLA
eS31
カテゴリ
Defect Inspection
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
69102
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
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