説明
Main body. SMIF Loader Controller CRT Keyboard Through the wall SUS Front panel Al Side panel: Ni Coated Pump interface構成
Gas system: (5) MFC Tylan FC-2900 CF4, C12, N2, 02, NF3 Quartz tube protection C mictube ESC Uni1.ersal chuck, 8" Water auxiliariesOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
SHIBAURA
CDE 80
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
29599
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Main body. SMIF Loader Controller CRT Keyboard Through the wall SUS Front panel Al Side panel: Ni Coated Pump interface構成
Gas system: (5) MFC Tylan FC-2900 CF4, C12, N2, 02, NF3 Quartz tube protection C mictube ESC Uni1.ersal chuck, 8" Water auxiliariesOEMモデルの説明
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