説明
Wafer Count (Lifetime) - 161,012 Older Chamber w/ different accessibility regarding maintenance構成
Gas Layout: SF6 H2 CHF3 CF4 and C4F8 He O2OEMモデルの説明
Omega Synapse etch process module uses a high density plasma source and is designed to etch strongly bonded materials.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 7日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Idle
製品ID：
153993
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA / SPTS
OMEGA SYNAPSE
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 7日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Idle
製品ID：
153993
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Wafer Count (Lifetime) - 161,012 Older Chamber w/ different accessibility regarding maintenance構成
Gas Layout: SF6 H2 CHF3 CF4 and C4F8 He O2OEMモデルの説明
Omega Synapse etch process module uses a high density plasma source and is designed to etch strongly bonded materials.ドキュメント
ドキュメントなし