説明
SPTS Synapse Chamber SPTS Synapse PM. Includes all the necessary components (gas panel, Rf generators, chiller, etc) to install on a new mainframe. It does not come with the dry pump.構成
The gases are SF6, H2, CHF3, CF4, C4F8, He and O2. Powered on, in idle mode The ESC was replaced in 2025.OEMモデルの説明
Omega Synapse etch process module uses a high density plasma source and is designed to etch strongly bonded materials.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
146034
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2016
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA / SPTS
OMEGA SYNAPSE
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
146034
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2016
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
SPTS Synapse Chamber SPTS Synapse PM. Includes all the necessary components (gas panel, Rf generators, chiller, etc) to install on a new mainframe. It does not come with the dry pump.構成
The gases are SF6, H2, CHF3, CF4, C4F8, He and O2. Powered on, in idle mode The ESC was replaced in 2025.OEMモデルの説明
Omega Synapse etch process module uses a high density plasma source and is designed to etch strongly bonded materials.ドキュメント
ドキュメントなし