説明
Host console- 125*300*210 cm/1500 NameplateNE-950 Auxiliary machine- chiller(40*100*100 cm/100kg ) pump(38*100*55 cm/100kg ) pump(38*100*55 cm/100kg ) Machine condition- Damaged, no missing parts Damage description- The Turbo pump is severely damaged and cannot be repaired, and the vacuum transfer arm is damaged. Whether there are high and low frequencies- YES Upper electrode: 13.56MHz Lower electrode: 12.5MHz Gas type- Ar, O2, N2, CF4, Cl2, BCl3 Current- Three-phase five-wire 208V/120A構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
ULVAC
NE-950
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
79021
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ULVAC
NE-950
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Host console- 125*300*210 cm/1500 NameplateNE-950 Auxiliary machine- chiller(40*100*100 cm/100kg ) pump(38*100*55 cm/100kg ) pump(38*100*55 cm/100kg ) Machine condition- Damaged, no missing parts Damage description- The Turbo pump is severely damaged and cannot be repaired, and the vacuum transfer arm is damaged. Whether there are high and low frequencies- YES Upper electrode: 13.56MHz Lower electrode: 12.5MHz Gas type- Ar, O2, N2, CF4, Cl2, BCl3 Current- Three-phase five-wire 208V/120A構成
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