説明
Reactor構成
- 3 atmospheric epi chambers - 1 cool down chamber - Variable Speed Blower - HP+ Robot - Wide Body Loadlocks - On-The-Fly Center Finder - Accusett BMV system - HSMS GEMSECS - 2 mixed dopant supply lines - TCS supply line - Universal loadlock platform (200mm or 150mm) - with 208V external transformer - No process kits includedOEMモデルの説明
The Centura architecture clusters four processing stations and two auxiliary chambers around a central transfer module containing an ultra-reliable magnetically-coupled vacuum robot.ドキュメント
ドキュメントなし
APPLIED MATERIALS (AMAT)
CENTURA 5200 HTF
検証済み
カテゴリ
Epitaxial deposition (EPI)
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
84555
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2004
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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APPLIED MATERIALS (AMAT)
CENTURA 5200 HTF
検証済み
カテゴリ
Epitaxial deposition (EPI)
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
84555
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2004
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Reactor構成
- 3 atmospheric epi chambers - 1 cool down chamber - Variable Speed Blower - HP+ Robot - Wide Body Loadlocks - On-The-Fly Center Finder - Accusett BMV system - HSMS GEMSECS - 2 mixed dopant supply lines - TCS supply line - Universal loadlock platform (200mm or 150mm) - with 208V external transformer - No process kits includedOEMモデルの説明
The Centura architecture clusters four processing stations and two auxiliary chambers around a central transfer module containing an ultra-reliable magnetically-coupled vacuum robot.ドキュメント
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