説明
LPCVD構成
-Wafer size : 4inch, 6inch, 8inch, 125Sq, 156Sq -Capability : 70 wafers/batch -Process : Wet/Dry Oxidation, Poly Si, (Low Stress), SiNx, (B)PSG process -Uniformity : ±0.5~1%(Oxidation), ±1~2%(Poly Si, SiNx), ±3~5%(BPSG)OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
CENTROTHERM
E1550
検証済み
カテゴリ
Furnaces / Diffusion
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105915
ウェーハサイズ：
4"/100mm, 6"/150mm, 8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Furnaces / Diffusion
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不明
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-Wafer size : 4inch, 6inch, 8inch, 125Sq, 156Sq -Capability : 70 wafers/batch -Process : Wet/Dry Oxidation, Poly Si, (Low Stress), SiNx, (B)PSG process -Uniformity : ±0.5~1%(Oxidation), ±1~2%(Poly Si, SiNx), ±3~5%(BPSG)OEMモデルの説明
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