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H2 annealing up to 1500°C; max. diameter for loading 700mm; hight 350mm; vacuum processing possible up to 1700°C; max. power load 200kWOEMモデルの説明
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PVA TEPLA
COV 733 R
カテゴリ
Furnaces / Diffusion
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
111238
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2008
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