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APPLIED MATERIALS (AMAT) / VARIAN VIISion 80
    説明
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    構成
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    OEMモデルの説明
    The VIISion 80 ion implanter beam line incorporates a number of significant features to enhance the generation and transport of ion beams with high efficiencies and minimal heavy metals and particle production. These include a dual filament ion source, a constant current extraction system with variable z axis and suppression voltage, a very high resolving power high acceptance mass analysis system, a rotating mass defining slit, a variable gap acceleration system and a full faraday in front of the wafer.
    ドキュメント

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    APPLIED MATERIALS (AMAT) / VARIAN

    VIISion 80

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    検証済み

    カテゴリ
    High Current

    最終検証: 23日前

    主なアイテムの詳細

    状態:

    Used


    稼働ステータス:

    不明


    製品ID:

    118048


    ウェーハサイズ:

    不明


    ヴィンテージ:

    不明


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    VIISion 80

    High Current
    ヴィンテージ: 0状態: 部品ツール
    最終確認22日前

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    The VIISion 80 ion implanter beam line incorporates a number of significant features to enhance the generation and transport of ion beams with high efficiencies and minimal heavy metals and particle production. These include a dual filament ion source, a constant current extraction system with variable z axis and suppression voltage, a very high resolving power high acceptance mass analysis system, a rotating mass defining slit, a variable gap acceleration system and a full faraday in front of the wafer.
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    APPLIED MATERIALS (AMAT) / VARIAN VIISion 80

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    VIISion 80

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