説明
説明なし構成
Vacuum Chamber: SUS304 φ1550mm×1800mm (H) Substrate Dome Size: φ1400mm Substrate Dome Rotation Speed: 10 rpm to 30 rpm (Variable) Optical Film Thickness Control System: HOM2-R-VIS350A High-precision Optical Monitor Wavelength range: 350nm to 1100nm Reflection/Transmittance Crystal Film Thickness Monitor: XTC/3 plus 6-point rotary sensor Evaporation Source: EB source: 2 units Ion Source: 23 cm RF ion source Vacuum System: Roughing Pump 2 Diffusion Pumps + Poly cold Power Requirements: 3-phase 200V 50/60Hz 120kVA approx. Cooling Water Flow Rate: 180ℓ/min or greater Compressed Air Pressure: 0.5MPa or greater Gross Weight: 11000kg approx.OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
OPTORUN
OTFC-1550
カテゴリ
Ion Beam / IBD
最終検証： 10日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
59518
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2015
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available