説明
Version 1構成
構成なしOEMモデルの説明
The RAITH150 is a multipurpose tool that can perform direct e-beam exposure and wafer scale process development at suboptical resolution. It includes integrated linewidth and metrology functions that optimize process reproducibility. The SEM side can be used to obtain large high magnification tiled images by taking advantage of the high resolution interferometer stage.ドキュメント
ドキュメントなし
検証済み
カテゴリ
Lithography
最終検証： 9日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Running
製品ID：
153724
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
RAITH
150 E BEAM
カテゴリ
Lithography
最終検証： 9日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Running
製品ID：
153724
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Version 1構成
構成なしOEMモデルの説明
The RAITH150 is a multipurpose tool that can perform direct e-beam exposure and wafer scale process development at suboptical resolution. It includes integrated linewidth and metrology functions that optimize process reproducibility. The SEM side can be used to obtain large high magnification tiled images by taking advantage of the high resolution interferometer stage.ドキュメント
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