説明
説明なし構成
Wafer StepperOEMモデルの説明
The Optima MD is the only low energy, mid-dose ion implanter for all channel engineering applications in the low-dose and mid-dose regimes. The single wafer productivity-driven platform covers traditional medium current processes as well as emerging low energy mid-dose HALO implants.ドキュメント
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AXCELIS
OPTIMA MD
カテゴリ
Low Current
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
107236
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Wafer StepperOEMモデルの説明
The Optima MD is the only low energy, mid-dose ion implanter for all channel engineering applications in the low-dose and mid-dose regimes. The single wafer productivity-driven platform covers traditional medium current processes as well as emerging low energy mid-dose HALO implants.ドキュメント
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