説明
lon implanter構成
構成なしOEMモデルの説明
The Optima MD is the only low energy, mid-dose ion implanter for all channel engineering applications in the low-dose and mid-dose regimes. The single wafer productivity-driven platform covers traditional medium current processes as well as emerging low energy mid-dose HALO implants.ドキュメント
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AXCELIS
OPTIMA MD
カテゴリ
Low Current
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
Deinstalled
製品ID：
113347
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
lon implanter構成
構成なしOEMモデルの説明
The Optima MD is the only low energy, mid-dose ion implanter for all channel engineering applications in the low-dose and mid-dose regimes. The single wafer productivity-driven platform covers traditional medium current processes as well as emerging low energy mid-dose HALO implants.ドキュメント
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