説明
Need to repair: Gauge controller/Dry pump/In-air Transfer robot /Y-scan controller/E-chuck Shut down in 2023 The tool will not include: turbo pump cryo pump dry pump compressor構成
Med-C ImpOEMモデルの説明
NV-MC3 300mm high tilt and medium current applications for all chips.ドキュメント
ドキュメントなし
AXCELIS
NV MC3
カテゴリ
Medium Current
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Down
製品ID：
142915
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Need to repair: Gauge controller/Dry pump/In-air Transfer robot /Y-scan controller/E-chuck Shut down in 2023 The tool will not include: turbo pump cryo pump dry pump compressor構成
Med-C ImpOEMモデルの説明
NV-MC3 300mm high tilt and medium current applications for all chips.ドキュメント
ドキュメントなし