説明
Missing Parts: Robot controller, cathode power supply, filament power supply, monitor, RP3, ion gauge controller (cable), L/R side cup BNC cable, source filament power supply構成
Accessories: Decontamination system (shared with IG103), Process gases: Ar, PH3, AsH3, BF3OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Medium Current
最終検証： 14日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
143531
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
SEN CORPORATION / SUMITOMO
MC3-II/CM
カテゴリ
Medium Current
最終検証： 14日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
143531
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Missing Parts: Robot controller, cathode power supply, filament power supply, monitor, RP3, ion gauge controller (cable), L/R side cup BNC cable, source filament power supply構成
Accessories: Decontamination system (shared with IG103), Process gases: Ar, PH3, AsH3, BF3OEMモデルの説明
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