説明
VARIAN EHP500 MEDIUM CURRENT SYSTEM WITH OPTIONS (PEA605)構成
Software Version - V13.43.29 CIM - GEM and SECS Process - Medium Current Implanter Handler System - Endstation PP+ with both Loadlock Excluded Lock Lock Rough LHS & RHS LPT Analyzer Turbo Pump & Controller Endstation 2 stage pump Target cryo CT10 IHS and RHS LL turbo pump Source Rough pump Source Turbo pump and controller Beamline turbo pump and controllerOEMモデルの説明
The E500-EHP is a medium current ion implanter made by AMAT (Varian). It processes one or two cassettes of wafers as a batch, a single wafer at a time.ドキュメント
カテゴリ
Medium Current
最終検証： 30日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
150920
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1997
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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APPLIED MATERIALS (AMAT) / VARIAN
E500-EHP
カテゴリ
Medium Current
最終検証： 30日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
150920
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1997
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available